Subversion Repositories svnkaklik

Rev

Rev 711 | Show entire file | Regard whitespace | Details | Blame | Last modification | View Log

Rev 711 Rev 720
Line 16... Line 16...
16
\begin{abstract}
16
\begin{abstract}
17
\end{abstract}
17
\end{abstract}
18
 
18
 
19
\section{Úvod}
19
\section{Úvod}
20
\begin{enumerate}
20
\begin{enumerate}
21
\item Sledujte čerpání uzavřeného objemu rotační olejovou vývěvou (ROV) s uzavřeným a otevřeným proplachováním, a to  od atmosférického tlaku až po přibližný mezní tlak. Ze závislosti $ln (p)=f(t)$ určete čerpací rychlost.
21
\item Aparatura je napuštěna vzduchem na atmosférický tlak. Zavřít napouštěcí ventil.
22
 
22
 
23
\item Určete čerpací rychlost z měření proudu plynu (mikrobyretou) při konstantním tlaku. Proveďte pro 3 hodnot tlaku od 5 do $20Pa$.
23
\item Zapnout a nechat ustálit vakuometr.
24
 
24
 
25
\item Určete, jak ovlivňuje efektivní čerpací rychlost hadice mezi ROV a recipientem.
25
\item Zapnout hlavní vypínač vakuového stojanu. Sledovat vývoj na display. Nastavit display na skutečné otáčky. Sledovat časový průběh tlaku v recipientu a zaznamenávat p=p(t).
26
 
26
 
27
\item Ocejchujte termočlánkový vakuometr v rozsahu 6 až 30 dílků sklápěcím kompresním vakuometrem McLeod. (cca 10 bodů)
27
\item Po dosažení tlaku $p < 10^{-3}$ Pa možno zapnout hmotnostní analyzátor - ovládání přes počítač.
28
 
28
 
29
\item Měřením tlakového spádu (termočlánkovým vakuometrem a McLeodem) a proudu výduchu  (Mikrobyretou) určete vodivost kovové trubice ($\phi=8,5 mm$, $l= 100cm$) pro vstupní tlaky od $5Pa$ do $50Pa$. Určete vodivost trubice výpočtem a výsledky srovnejte. 
29
\item Nastavení režimu ... sejmout hmotností spektrum. Možno několikrát opakovat a uložit do paměti pro ilustraci v protokolu. Určit hlavní - převládající -prvky či molekulární fragmenty.
30
 
30
 
-
 
31
\item Nastavit režim "TREND" a sledovat časový průběh tlaku vybraných plynů. Uložit do paměti.
-
 
32
 
-
 
33
\item Změřit vliv ohřátí recipientu na parciální tlaky v aparatuře. Při měření v režimu "TREND":
-
 
34
\begin{enumerate}
-
 
35
\item Zapnout ohřev recipientu.
-
 
36
\item Sledovat průběh parciálních tlaků až do fáze jejich všeobecného poklesu.
-
 
37
\item Zaznamenat rovněž celkový tlak $p_tot(t)$.
-
 
38
\item Uložit v paměti.
-
 
39
\item Vypnout ohřev a ještě chvíli zaznamenávat časový průběh tlaků.
-
 
40
\end{enumerate}
-
 
41
 
-
 
42
\item Zaznamenat průnik lehkého plynu - helia - zpětnou difusí čerpací soustavu do vakua: Okolí výfuku z turbo-molekulární vývěvy zahltit heliem a sledovat parciální tlak He v aparatuře v režim "TREND".
-
 
43
 
-
 
44
\item Zaznamenat vliv otáček vývěvy na čerpání rázných plynů:
-
 
45
 
31
\item Měření popište v protokolu, výsledky vyneste v tabulkách a grafech.
46
\item V režimu "TREND". Vypnout napájení čerpací sestavy na dobu než tlak vystoupí na  cca $10^{-3}$ Pa. Při cca $10^{-3}$ Pa opět napájení zapnout (! Aby se nespálila katoda iontového zdroje). Zaznamenat vzrůst parciálních tlaků s klesajícími otáčkami.
-
 
47
 
-
 
48
\item Odstavit hmotností analyzátor (vypnout žhavení katody)
-
 
49
 
-
 
50
\item Odstavit vakuovou aparaturu.
32
\end{enumerate}
51
\end{enumerate}
33
 
52
 
34
\section{Postup měření}
53
\section{Postup měření}
35
 
54
 
-
 
55
Na začátku měření byla celá aparatura napuštěna vzduchem na atmosférický tlak. Zavřeli jsme proto napouštěcí ventil a aktivovali automatiku pro čerpání. 
36
$ S = - \frac{V}{t} \ln \frac{p}{p0} $
56
Průběh tlaku při čerpání membránovou a následně i turbo-molekulární vývěvou je vidět v grafu.  
37
 
57
 
-
 
58
\begin{center}
38
$ q = C (p1 - p2) $
59
\begin{figure}[htbp]
-
 
60
\includegraphics[width=150mm]{cerpani.png} 
-
 
61
\caption{Průběhy tlaku v recipientu během čerpání.}
-
 
62
\end{figure}
-
 
63
\end{center}
39
 
64
 
40
$ C_{VM} = \frac{ \pi D^2}{4} \frac{D}{L} \left[ \frac{\pi}{128} \frac{D}{l_s} + \frac{1}{3} Z(D/l_s) \right]$
65
Po dosažení odpovídajícího tlaku jsme zapnuli kvadrupólový hmotnostní spektrometr a změřili hmotnostní spektrum zbytkové atmosféry. Spektrum je opět uvedeno v grafu.
-
 
66
 
-
 
67
\begin{center}
-
 
68
\begin{figure}[htbp]
-
 
69
\includegraphics[width=150mm]{hmotnostni_spektrum.png} 
-
 
70
\caption{Hmotnostní spektrum zbytkové atmosféry v aparatuře}
-
 
71
\end{figure}
-
 
72
\end{center}
41
 
73
 
42
\subsection{Sledujte čerpání uzavřeného objemu ROV}
-
 
43
Objem skleněné baňky (asi 11,8 l) jsme čerpali rotační olejovou vývěvou přes hadici. Zároveň jsme měřili tlak a hodnoty zapisovali do tabulky.
-
 
44
 
74
 
45
\begin{table}[htbp]
75
\begin{table}[htbp]
46
\caption{Průběhy tlaku v recipientu při čerpání rotační olejovou vývěvou}
76
\caption{Hlavní plyny ve zbytkové atmosféře}
47
\begin{center}
77
\begin{center}
48
\begin{tabular}{|r|r|r|}
78
\begin{tabular}{|r|r|r|}
49
\hline
79
\hline
50
\multicolumn{1}{|l|}{} & \multicolumn{1}{l|}{Bez proplachování} & \multicolumn{1}{l|}{S proplachováním} \\ \hline
-
 
51
\multicolumn{1}{|l|}{[Pa]} & \multicolumn{1}{l|}{[s]} & \multicolumn{1}{l|}{[s]} \\ \hline
80
\multicolumn{1}{|l|}{M$_r$ [g/mol]} & \multicolumn{1}{l|}{Ionty} & \multicolumn{1}{l|}{Molekuly}\\ \hline
52
1,00E+005 & 0 & 38 \\ \hline
81
1,1 & H$^+$ & H$_2$, H$_2$O, C$_x$H$_y$\\
53
5,00E+004 & 6 & 53 \\ \hline
-
 
54
2,00E+004 & 26 & 60 \\ \hline
82
2,0 & H$_2^+$, He$^{++}$ & H$_2$, He \\
55
1,00E+004 & 53 & 71 \\ \hline
83
12,0 & C$^+$ & CO, CO$_2$, C$_x$H$_y$ \\
56
5,00E+003 & 73 & 81 \\ \hline
84
15,0 & CH$_3^+$, NH$^+$ & C$_x$H$_y$, NH$_3$ \\
57
2,00E+003 & 96 & 105 \\ \hline
-
 
58
1,00E+003 & 121 & 128 \\ \hline
85
16,0 & O$^+$, CH$_4^+$,NH$_2^+$ & O$_2$, H$_2$O, CH$_4$, NH$_3$ \\
59
5,00E+002 & 145 & 152 \\ \hline
86
17,0 & OH$^+$, NH$_3^+$ & H$_2$O,NH$_3$ \\
60
2,00E+002 & 166 & 189 \\ \hline
87
18,0 & H$_2$O$^+$ & H$_2$O \\
61
1,00E+002 & 182 & 300 \\ \hline
88
20,0 & HF$^+$, 2ONe$^+$, Ar$^{++}$ & HF, 2ONe, Ar \\
62
5,00E+001 & 204 & \multicolumn{1}{l|}{} \\ \hline
89
28,0 & N$_2^+$, C$_2$H$_4^+$, CO$^+$ & N$_2$, C$_x$H$_y$, CO, CO$_2$ \\
63
2,00E+001 & 232 & \multicolumn{1}{l|}{} \\ \hline
90
29,0 & C$_2$H$_5^+$, 14N15N$^+$	& C$_x$H$_y$, N$_2$ \\
64
10 & 282 & \multicolumn{1}{l|}{} \\ \hline
91
30,0 & C$_2$H$_6^+$, NO$^+$ & C$_2$H$_6$, NO \\
65
5 & 380 & \multicolumn{1}{l|}{} \\ \hline
92
44,0 & C$_3$H$_8^+$, CO$_2^+$, C$_2$H$_4$OH$^+$, N$_2$O$^+$ & C$_3$H$_8$, CO$_2$, C$_2$H$_5$OH, N$_2$O \\
66
3 & 720 & \multicolumn{1}{l|}{} \\ \hline
93
\hline
67
\end{tabular}
94
\end{tabular}
68
\end{center}
95
\end{center}
69
\label{}
96
\label{tabulka_hmotnosti}
70
\end{table}
97
\end{table}
71
 
98
 
72
Výsledná závislost po vynesení do grafu vykazuje typické znaky použití proplachování u rotační vývěvy. Tedy nižší mezní tlak a nižší efektivní čerpací rychlost.
99
Po změření hmotnostního spektra jsme se zaměřili na rychlost čerpání jednotlivých plynů a ovládací software při čtení dat z hmotnostního spektrometru přenastavili tak, aby zaznamenával vývoj parciálních tlaků několika hlavních typů plynů v aparatuře. Časový vývoj tohoto záznamu je uveden v grafu.
-
 
100
Je vidět, že různé plyny mají odlišné parciální tlaky, což je způsobené jednat jejich nestejným zastoupením v atmosféře na začátku čerpání a potom i rozdílnou čerpací rychlostí pro různé relativní hmotnosti plynů. 
73
 
101
 
-
 
102
\begin{figure}[htbp]
74
\begin{center}
103
\begin{center}
75
\begin{figure}
-
 
76
\includegraphics[width=150mm]{cerpani.png} 
104
\includegraphics[width=150mm]{cerpani_parcialni.png} 
77
\caption{Průběhy tlaku v recipientu při čerpání rotační olejovou vývěvou}
105
\caption{Průběh parciálních tlaků jednotlivých plynů při čerpání turbo-molekulární vývěvou}
78
\end{figure}
-
 
79
\end{center}
106
\end{center}
-
 
107
\end{figure}
80
 
108
 
81
\subsection{Efektivní čerpací rychlost}
109
Při dosažení již prakticky konstantní hodnoty tlaků jsme zkusili demonstrovat snadný průnik lehkého plynu zpět skrz lopatky turbo-molekulární vývěvy. Za tímto účelem jsme mírně pootevřeli napouštěcí ventil, který do TMV ústí zhruba ve dvou třetinách lopatkového kola a vstup ventilu ofoukli Heliem z balonku. Následně byl zřejmý silný nárůst parciálního tlaku helia, jak je vidět v grafu.  
82
 
-
 
83
\subsection{Vodivost hadice k ROV}
-
 
84
 
110
 
-
 
111
\begin{figure}[htbp]
-
 
112
\begin{center}
-
 
113
\includegraphics[width=150mm]{difuze_helium.png} 
85
Výpočtem jsme zjistili vodivost gumové hadice (průměru 19,51mm a délky 730mm) 
114
\caption{Difuze helia zpět skrz lopatky turbo-molekulární vývěvy}
-
 
115
\end{center}
-
 
116
\end{figure}
86
 
117
 
87
\subsection{Termočlánkový vakuometr}
-
 
88
Kalibraci termočlánkového vakuometru jsme prováděli po jeho přeroubovaní na přírubu rozbočovače u skleněné baňky následně postupně měnili tlak. A hodnoty z obou vakuometrů McLeod i termočlánkový vakuometr zapisovali do tabulky.
-
 
89
 
118
 
90
Výsledkem je graf, který by se dal považovat za kalibrační křivku termočlánkového vakuometru. Pro ilustraci je zde uvedena i ideální lineární odezva vakuometru.   
119
Dalším krokem bylo zahřátí aparatury a opět záznam desorpce a změny parciálních tlaků v recipientu. V grafu je dobře vidět nárůst prakticky všech parciálních tlaků plynů, avšak u vodíku nejmenší, díky jeho obecně nízké vazbě na povrch aparatury.
91
 
120
 
-
 
121
\begin{figure}[htbp]
92
\begin{center}
122
\begin{center}
93
\begin{figure}
-
 
94
\includegraphics[width=150mm]{kalibrace.png} 
123
\includegraphics[width=150mm]{cerpani_desorpce.png} 
95
\caption{Průběhy tlaku v recipientu při čerpání rotační olejovou vývěvou}
124
\caption{Průběh parciálních tlaků po zapnutí ohřevu aparatury}
-
 
125
\end{center}
96
\end{figure}
126
\end{figure}
-
 
127
 
-
 
128
Prakticky posledním měřením bylo zjištění vlivu otáček TMV na tlak v aparatuře. K tomu jsme v řídícím softwaru snížili otáčky z původních 1500Hz na 600Hz, díky setrvačnosti rotoru se tato změna na vývěvě aplikovala velmi pozvolna bylo tak možné sledovat, jak se mění průběh tlaku v aparatuře. Opět jsou naměřené hodnoty vyneseny do grafu pro jednotlivé hlavní plyny.
-
 
129
 
-
 
130
\begin{figure}[htbp]
-
 
131
\begin{center}
-
 
132
\includegraphics[width=150mm]{cerpani_otacky.png} 
-
 
133
\caption{Růst parciálních tlaků po snížení otáček lopatkového kola vývěvy}
97
\end{center}
134
\end{center}
-
 
135
\end{figure}
98
 
136
 
-
 
137
\section{Závěr}
99
\subsection{Vodivost trubice}
138
Úloha ukázala výhody turbo-molekulární vývěvy vůči ostatním typům vývěv, což je zvláště její rychlost náběhu a i čerpací rychlost vzhledem k příkonu. Ale zároveň i její nepříjemnou vlastnost a to její omezenou schopnost čerpání lehkých plynů, jako je například helium.
100
 
139
 
101
\end{document}
140
\end{document}